Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем

В книге рассмотрены математические модели интегральных микротехнологий, приборов и схем; описаны основные принципы построения моделей; технологических, физико-топологических, схемных, элементно-фрагментных и методы идентификации их параметров; рассмотрены основы математического обеспечения численного расчета БИС.